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スパッタ重合装置

MCC5520

スパッタ重合装置
● 小型ワークに特化した樹脂部品への成膜装置
● ワーク揺動機構を備え、小さい形状部品への成膜も可能
● 金属膜成膜室、前処理室、重合室は独立して同時稼働させることによりハイタクトを達成
● オプションで多関節ロボットとの連動が可能で、省人化にも寄与
 
装置仕様

● 装置寸法(mm)   W2,400×D2,400×H2,300

● 装置重量      約 7,000kg

● 収納容積(mm)         □550×H200×4室

● 標準サイクルタイム 45sec/回

   ※標準的なサイクル時間であり、保証値ではありません。

株式会社メープル
〒252-0212
神奈川県相模原市中央区宮下
三丁目3番1号
TEL 042-700-0310
FAX 042-700-0314


1. 半導体・LED向け装置設計組立
2. 自動車等樹脂製品向け蒸着重合
  装置/スパッタ重合装置製造販売
3. 各種洗浄装置設計製造販売
4. 精密機械部品加工



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