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マルチ真空プロセス装置

マルチ真空プロセス装置
センターチャンバーの周辺にロードロック室を含めて
全6室を搭載可能なクラスター型複合プロセス装置を開発
 
● センターチャンバーと各室間にゲートバルブを配置しコンタミを防止
● ゲートバルブをセンターチャンバー内に組み込み、省スペース化を実現
● メインポンプ(ターボ分子ポンプ)をチャンバー上部に取り付け高メンテナンス性を実現
● 独自開発の真空搬送ロボットを搭載
● 各室独立の真空排気系を装備(但し、センターチャンバーとロードロック室は共用)
● ±3%の膜厚分布のスパッタ成膜ユニットを搭載
● 最高1,000℃まで昇温可能なランプアニールユニットを搭載
● ∮300Siウェハーを13枚搭載可能なカセットロードロック室を装備

株式会社メープル
〒252-0212
神奈川県相模原市中央区宮下
三丁目3番1号
TEL 042-700-0310
FAX 042-700-0314


1. 半導体・LED向け装置設計組立
2. 自動車等樹脂製品向け蒸着重合
  装置/スパッタ重合装置製造販売
3. 各種洗浄装置設計製造販売
4. 精密機械部品加工



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