● 半導体装置で培った技術を集約した最新鋭装置

● φ540×H1500(mm)のワーク設置範囲を実現

● 1扉にワーク取付け用軸を2軸設置

● 2扉方式によるハイタクトを達成

● ワーク投入後、専用ソフトによるオートランニング機能

● 装置最適化により排気系統、制御盤を含めてW2300×D4900(mm)の小フットプリントを実現

装置仕様

● 装置寸法(mm)　　　W2,300×D4,900×H2,500

　  ※両扉を全開にした場合、W5,700となります。

● 装置重量　　　　　　約 7,000kg

● 収納容積(mm)         φ540×H1,500×2軸 (片扉)

● 標準サイクルタイム　300sec/回

　  ※標準的なサイクル時間であり、保証値ではありません。