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GaN成膜装置治具用ドライ洗浄装置

MDC8540L

MDC6550

● GaN成膜装置に使用する各種治具のドライ洗浄に最適

● 洗浄可能な治具は、SiCコートカーボン、石英等

● ダミーウエハのサファイア基板も洗浄可能

● 効果で時間のかかるウェット洗浄や大量の予備品が不要

● 温装置導入でサイクルコストの削減に貢献可能

● 作業者に負担のかからない安全設計

 
装置仕様


MDC8540LMDC6550
  • 装置寸法(mm)
W2,100×D4,160×H2,700W1,850×D2,900×H2,400
  • 装置重量
約 4,500kg約 2,800kg
  • 洗浄可能寸法(最大)
φ850mmφ650mm
  • 洗浄方法(両モデル共通)
洗浄ガスとの加熱反応方式

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株式会社メープル
〒252-0212
神奈川県相模原市中央区宮下
三丁目3番1号
TEL 042-700-0310
FAX 042-700-0314


1. 半導体・LED向け装置設計組立
2. 自動車等樹脂製品向け蒸着重合
  装置/スパッタ重合装置製造販売
3. 各種洗浄装置設計製造販売
4. 精密機械部品加工



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