MDC8540L
MDC6550
● GaN成膜装置に使用する各種治具のドライ洗浄に最適
● 洗浄可能な治具は、SiCコートカーボン、石英等
● ダミーウエハのサファイア基板も洗浄可能
● ウェット洗浄では消耗の激しい石英もダメージが少なく大量の予備品が不要
● 装置導入でサイクルコストの削減に貢献可能
● 作業者に負担のかからない安全設計
| 装置仕様 | ||
| MDC8540L | MDC6550 | |
| W2,100×D4,160×H2,700 | W1,850×D2,900×H2,400 |
| 約 4,500kg | 約 2,800kg |
| φ850mm | φ650mm |
| 洗浄ガスとの加熱反応方式 |
