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株式会社メープル
〒252-0212
神奈川県相模原市中央区宮下
三丁目3番1号
TEL.042-700-0310
FAX.042-700-0314

─────────────────
1.半導体・LED向け装置設計組立
2.自動車等樹脂製品向け蒸着重合
 装置/スパッタ重合装置製造販売
3.各種洗浄装置設計製造販売
4.精密機械部品加工
─────────────────

060124
 

GaN成膜装置治具用ドライ洗浄装置

 

MDC8540L

MDC8540L
 

MDC6550

MDC6550
 

● GaN成膜装置に使用する各種治具のドライ洗浄に最適

● 洗浄可能な治具は、SiCコートカーボン、石英等

● ダミーウエハのサファイア基板も洗浄可能

● 効果で時間のかかるウェット洗浄や大量の予備品が不要

● 温装置導入でサイクルコストの削減に貢献可能

● 作業者に負担のかからない安全設計

 
 
装置仕様
             MDC8540L           MDC6550
● 装置寸法(mm)         W2,100×D4,160×H2,700   W1,510×D2,440×H2,950
● 装置重量        約 4,500kg           約 2,800g
● 洗浄可能寸法(最大)   φ850mm           φ650mm
● 洗浄方法(両モデル共通)   洗浄ガスとの加熱反応方式
 

MDCシリーズカタログダウンロード

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MDC8540L ↑
 
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