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株式会社メープル
〒252-0212
神奈川県相模原市中央区宮下
三丁目3番1号
TEL.042-700-0310
FAX.042-700-0314

─────────────────
1.半導体・LED向け装置設計組立
2.自動車・遊戯施設向け蒸着重合
 装置/スパッタ重合装置製造販売
3.各種洗浄装置設計製造販売
4.精密機械部品加工
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017689
 

UV照射装置

 
 
オリジナル製品
 
メープルの技術陣が送り出すオリジナル製品
 
卓上型UV照射装置
卓上型UV照射装置
 
○最大∮300mmのシリコンウエハ、ガラスなどの基盤(試料)にUV照射を行い、表面の有機物を除去し、濡れ性を向上させることができます。
○基盤(試料)ホルダーの上下、または取替えが容易なため、厚みのある基盤(試料)を処理することが可能となります。
○オゾン発生型装置は、ガス導入機構を装備し酸素ガス導入により高濃度のオゾン発生が可能となり、高いクリーニング効果が実現できます。
○基盤(試料)セット後の処理は自動運転が可能です。
○紫外線とオゾンが発生するので、洗浄時に蓋が開かないなど各種インターロックを標準装備しています。
 

卓上型UV照射装置カタログダウンロード

卓上型UV照射装置カタログダウンロード
 
   
当社では、生産設備へのスケールアップ等の
ご検討も承りますので、ぜひ一度お問い合せ下さい。

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